扫描电子显微镜 (SEM)

1 扫描电子显微镜 (SEM)

 焦成一微小的电子束至样品表面，并利用扫描线圈使其在样品表面上扫描。由于SEM其w分辨率高及景深大，放大

 倍率可达到几万至几十万倍以上，故主要是用来观察样品表面及剖面微结构，如在设备上加装能量分散X光谱仪

 (Energy Dispersive Spectrometer, EDS)时，则可对样品表面同时进行微区之材料分析。

2 主要的检测项目

  - 锡须观察

  - 定性/半定量之元素分析

  - 多层结构样品膜厚测量

  - 表面及横截面微细结构观察与分析

3 典型案例

  (1)IC引脚检查图 

     (2)放大到3000X后测量