电子元器件失效分析
1 失效分析流程
2 失效分析应用
(1)实物对象包括已发生失效或发生重要变化的测试结构、半成品、试制品、试验品、整机应用以及外场应用失效品。
(2)过程对象包括元器件的研发、生产过程与应用过程。
(3)研发过程可细分为设计优化、制造工艺优化(如成品率优化)、测试筛选与评价试验优化等过程。
(4)在应用过程中,元器件选型、二次筛选条件优化、设备研制生产中的故障控制对策、可靠性增长、全寿命期维护等。
3 失效分析案例
键合点脱落
集成电路小电压击穿形貌
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