俄歇纳米探针系统 （AES）

  1 俄歇纳米探针系统 （AES）

    俄歇纳米探针系统（Auger electron spectroscopy，简称AES）是一种分析材料表面组织形态及化学结构的仪器, 主要应用于高端精密的电子、材料等研究领域。AES应用于鉴定样品表面的化学性质及组成的分析，其特点在俄歇电子来极表面甚至单个原子层，仅带出表面的化学信息，具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点，广泛应用于材料分析以及催化、吸附、腐蚀、磨损等方面的研究。 

  2 主要的检测项目：

     - 俄歇能谱多点分析

     - AES纵深分析

     - AES mapping分析

     - 监测样品表面清净度

     - 化学态分析

     - 样品表面成份与半定量分析、杂质分析（0.1%浓度以上）