1 二次离子质谱仪 (SIMS)
二次离子质谱仪（Secondary Ion Mass Spectrometry，简写SIMS）具有高灵敏度的杂质侦测力，几乎对所有元素的侦测极限可达ppma(百万分之一原子密度)，对于部份元素的侦测极限甚至可达PPBA(十亿分之一原子密度)，而被广泛的应用于半导体以及薄膜材料分析上。
2 主要的检测项目
- 金属扩散检测
- 表面污染分析
- 吸附检测
- 腐蚀分析
- 掺杂纵深分析
- 浅面和超浅面分析
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