1 原子力显微镜 (AFM)
扫描探针显微镜,俗称原子力显微镜(Atomic Force Microscope, 简称AFM),提供原子或接近原子分
辨率的表面图形,是测定埃尺度表面粗糙样本的理想技术。除显示表面图像, AFM还可以提供特征尺寸定
量测量,例如步进高度测量;其他样本特性,如为确定载体和掺杂剂的分布和测量电容。
2 主要的检测项目
- 三维表面结构图像检测
- 测定形态/结构检测
- 测定表面粗糙度
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