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原子力显微镜 (AFM)

时间:2018-10-08

 1 原子力显微镜 (AFM)

   扫描探针显微镜,俗称原子力显微镜(Atomic Force Microscope, 简称AFM),提供原子或接近原子

辨率的表面图形,是测定埃尺表面粗糙样本的理想技术。除显示表面图像, AFM还可以提供特征尺寸

量测量,例如步进高度测量;其他样本特性,如为确定载体和掺杂剂的分布和测量电容。

2 主要的检测项目

   - 三维表面结构图像检测

   测定形态/结构检测

   - 测定表面粗糙度

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