透射电子显微镜 (TEM)

  1 透射电子显微镜 (TEM)

  透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope,简称TEM），通常采用热阴极电子枪来获得电子束作为照明源，热阴极发射的电子，在阳极加速电压的作用下，高速穿过阳极孔，然后被聚光镜会聚成具有一定直径的束斑照到样品上，具有一定能量的电子束与样品发生作用，产生反映样品微区厚度、平均原子序数、晶体结构或位向差别的多种信息，并可达到0.1奈米的影像分辨率。 

  2  主要的检测项目

    - 结晶缺陷分析

    - 元素成分分析

    - 杂质及污染物分析

    - 薄膜及厚度分析