1 X光光电子能谱仪 (XPS)
X光光电子能谱分析(X-ray photoelectron spectroscopy,简称XPS)是利用X射线照射在样品上,使用样品的中原子或者分子的电子受激发发射,然后测量这些电子的能量分布,从而确定样品中原子或者离子的组成和状态。XPS主要应用是测定电子的结合能来鉴定样品表面的化学性质及组成的分析,其特点在光电子来自表面10nm以内,仅带出表面的化学信息,具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点,广泛应用于金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层材料矿石等各种材料的研究。
2 主要的检测项目
- 表面异物分析
- 元素定性和定量分析
- 金属表面氧化程度
- 氧化层厚度分析
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